半導體檢測與代理人控制
- 講者陳晁偉 博士 (艾斯摩爾)
邀請人：林仁俊 - 時間2026-06-02 (Tue.) 14:00 ~ 16:00
- 地點資訊所新館106演講廳
摘要
半導體缺陷檢測正致力於提升高解析度電子顯微鏡（SEM）的吞吐量。然而，日益複雜的系統設計不僅增加了操作的嚴謹度要求，也帶來諸多不便。結合命令列介面（CLI）的「代理人模式」（Agentic System）系統控制，有望成為下一代系統控制介面的全新解決方案。
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